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RTS-8型數字式四探針測試儀
1.恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔(dang)；
2.可(ke)連接(jie)電腦(nao)使用(yong)也可(ke)以不(bu)連接(jie)電腦(nao)使用(yong)，連接(jie)電腦(nao)使用(yong)帶自(zi)動(dong)測量功能(neng)，自(zi)動(dong)選擇(ze)適合(he)樣品(pin)測試電流量程(cheng)；
3.高速并口(kou)通訊接(jie)口(kou)，連接(jie)電腦使用時采集數據到(dao)電腦的時間只需要1.5秒（在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程(cheng)檔時）；
RTS-8型數字式四探針測試儀是運用四探(tan)針(zhen)測量原理的多用途綜合測量設備。該(gai)儀(yi)器按照單晶硅物理測試方(fang)法(fa)國家(jia)標準(zhun)并參考美(mei)國 A.S.T.M 標準(zhun)而設計的，于(yu)測試半導(dao)體材(cai)料電(dian)阻率及(ji)方(fang)塊電(dian)阻(薄層電(dian)阻)的儀(yi)器。
儀器由主機(ji)(ji)、測試(shi)臺、四探針探頭(tou)、計(ji)算(suan)(suan)機(ji)(ji)等部分(fen)組成，測量數據既(ji)可由主機(ji)(ji)直接(jie)顯(xian)示，亦可由計(ji)算(suan)(suan)機(ji)(ji)控(kong)制測試(shi)采集(ji)測試(shi)數據到計(ji)算(suan)(suan)機(ji)(ji)中加以分(fen)析(xi)(xi)，然后以表(biao)格，圖形(xing)方(fang)式統(tong)計(ji)分(fen)析(xi)(xi)顯(xian)示測試(shi)結果。
; 儀(yi)器采用了(le)電子技術進行設計(ji)、裝配。具有功能選擇直觀、測(ce)(ce)量(liang)取(qu)數快、精度高、測(ce)(ce)量(liang)范圍寬、穩定性好、結構(gou)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導(dao)(dao)體材料(liao)廠、半導(dao)(dao)體器件廠、科研單位、高等院校(xiao)對半導(dao)(dao)體材料(liao)的電阻性能(neng)測試。
RTS-8型四探針軟件測試系統是一個運行在(zai)計算機上擁有(you)友好測(ce)(ce)(ce)試(shi)界面(mian)的用戶程序，通過此測(ce)(ce)(ce)試(shi)程序輔助使用戶簡(jian)便地(di)進行各項測(ce)(ce)(ce)試(shi)及獲得(de)測(ce)(ce)(ce)試(shi)數(shu)據并(bing)對測(ce)(ce)(ce)試(shi)數(shu)據進行統(tong)計分析(xi)。
測(ce)試(shi)(shi)程序控制四(si)探針測(ce)試(shi)(shi)儀進行測(ce)量(liang)并采(cai)(cai)集(ji)測(ce)試(shi)(shi)數(shu)據(ju)，把(ba)采(cai)(cai)集(ji)到(dao)的數(shu)據(ju)在計算機中(zhong)加以(yi)(yi)分析，然后(hou)(hou)把(ba)測(ce)試(shi)(shi)數(shu)據(ju)以(yi)(yi)表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采(cai)(cai)集(ji)到(dao)的數(shu)據(ju)在電腦中(zhong)保(bao)存或(huo)者(zhe)打(da)印以(yi)(yi)備日后(hou)(hou)參考和查看(kan)，還(huan)可以(yi)(yi)把(ba)采(cai)(cai)集(ji)到(dao)的數(shu)據(ju)輸出到(dao)Excel中(zhong)，讓(rang)用戶對數(shu)據(ju)進行各種數(shu)據(ju)分析
技術參數：
測量范圍 | 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴展)； 方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴展)； 電導率：10-5～105 s/cm； 電阻：10-5～105 Ω； |
可(ke)測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)； 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)； 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)； |
恒流(liu)源 | 電流量程分(fen)為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續可調 |
數字電壓(ya)表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1% ； 顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示； |
四探(tan)針探(tan)頭基(ji)本指標(biao) | 間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
四探針探頭應用(yong)參(can)數 | (見探頭附帶的合格證(zheng)) |
模擬電阻測量相對誤差 | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整機測量zui大相對(dui)誤(wu)差(cha) | (用(yong)硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
整機測量(liang)標(biao)準(zhun)不(bu)確(que)定度 | ≤5% |
測試(shi)模式 | 可連(lian)接(jie)電腦(nao)測試也可不連(lian)接(jie)電腦(nao)測試 |
軟(ruan)件(jian)功(gong)能(neng)（選(xuan)配） | 軟(ruan)件(jian)可(ke)記錄、保存、打印每(mei)一點(dian)的(de)測(ce)試數(shu)據，并(bing)統計分析測(ce)試數(shu)據zui大值、zui小值、平均(jun)值、zui大百分變化(hua)、平均(jun)百分變化(hua)、徑向不(bu)均(jun)勻度、并(bing)將數(shu)據生(sheng)成直(zhi)方圖(tu)，也可(ke)把測(ce)試數(shu)據輸(shu)出到Excel中，對(dui)數(shu)據進行各種(zhong)數(shu)據分析。軟(ruan)件(jian)還(huan)可(ke)選(xuan)擇(ze)自動測(ce)量功能(neng)，根據樣品電阻(zu)大小自動選(xuan)擇(ze)適合電流量程檔測(ce)試。 |
計算機(ji)通訊接口 | 并口，高速并行采集數據，連接電腦使(shi)用時(shi)采集數據到電腦的時(shi)間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程(cheng)檔時(shi)）。 |
標(biao)準使用(yong)環境 | 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無高頻干擾； 無強光直射； |
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