RTS-4型數字式四探針測試儀

簡單描述
可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動測量功能，自動選擇適合樣品測試電流量程；
高速并口通訊接口，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5秒；
更新時間： 2017-10-11
產品型號： RTS-4

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詳細介紹

RTS-4型數字式四探針測試儀

可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動測量功能，自動選擇適合樣品測試電流量程；
高速并口通訊接口，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5秒；

RTS-4型數字式四探針測試儀是運用四探針測(ce)量原理的(de)多用途(tu)綜合測(ce)量設備。該儀器(qi)按照單晶硅物理測(ce)試方(fang)(fang)法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的(de)，于測(ce)試半導體(ti)材料電阻(zu)率(lv)及(ji)方(fang)(fang)塊電阻(zu)(薄(bo)層電阻(zu))的(de)儀器(qi)。
    儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。
    儀器采用(yong)了電子技術(shu)進(jin)行(xing)設計、裝配(pei)。具有功能(neng)選擇直觀、測量取數快(kuai)、精度高、測量范(fan)圍寬、穩(wen)定性好、結構緊湊、易操作(zuo)等(deng)特(te)點。
    本儀器適用于(yu)半(ban)導體材(cai)料廠、半(ban)導體器件廠、科(ke)研單位、高等(deng)院(yuan)校對半(ban)導體材(cai)料的電(dian)阻性能測試(shi)。

RTS-4型四探針軟件測試系統是一個運行(xing)(xing)在計算機(ji)上擁有友好(hao)測試(shi)界面的用戶程序，通(tong)過此測試(shi)程序輔(fu)助使用戶簡便地進行(xing)(xing)各項測試(shi)及獲得(de)測試(shi)數據并對測試(shi)數據進行(xing)(xing)統計分析。
  測(ce)試程序(xu)控制四(si)探針(zhen)測(ce)試儀進行(xing)(xing)測(ce)量并采(cai)(cai)集(ji)(ji)測(ce)試數(shu)(shu)(shu)據(ju)，把采(cai)(cai)集(ji)(ji)到(dao)的(de)數(shu)(shu)(shu)據(ju)在計算機中加以(yi)分(fen)析，然(ran)后把測(ce)試數(shu)(shu)(shu)據(ju)以(yi)表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶(hu)可對采(cai)(cai)集(ji)(ji)到(dao)的(de)數(shu)(shu)(shu)據(ju)在電腦中保存或者打印(yin)以(yi)備(bei)日(ri)后參考和(he)查看，還可以(yi)把采(cai)(cai)集(ji)(ji)到(dao)的(de)數(shu)(shu)(shu)據(ju)輸出到(dao)Excel中，讓用戶(hu)對數(shu)(shu)(shu)據(ju)進行(xing)(xing)各種數(shu)(shu)(shu)據(ju)分(fen)析

技(ji)術(shu)參數(shu)：

測量范圍(wei)	電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展)；方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴展)；電導率：0.0005～10000 s/cm；電阻：0.0001～2000Ω.cm；
可測(ce)晶片直徑	140mmX150mm(配S-2A型測試臺)； 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)； 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；
恒流源(yuan)	電(dian)流量程(cheng)分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各(ge)檔電(dian)流連續可調
數字電壓(ya)表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；
四探(tan)針探(tan)頭基本指(zhi)標	間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應用參數	(見探頭(tou)附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87進行)	0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于(yu)(yu)等于(yu)(yu)0.3%±1字
整(zheng)機測量(liang)zui大相對誤差	(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度(du)	≤5%
測試模式	可連接(jie)電(dian)腦(nao)測試也可不連接(jie)電(dian)腦(nao)測試
軟件功(gong)能（選(xuan)配）	軟件(jian)可(ke)記錄(lu)、保存、打(da)印每一點的(de)測(ce)試數據(ju)(ju)(ju)，并(bing)統計分析測(ce)試數據(ju)(ju)(ju)zui大值、zui小(xiao)值、平均值、zui大百分變(bian)化(hua)、平均百分變(bian)化(hua)、徑向不(bu)均勻度、并(bing)將(jiang)數據(ju)(ju)(ju)生成直方圖，也可(ke)把測(ce)試數據(ju)(ju)(ju)輸出到Excel中(zhong)，對數據(ju)(ju)(ju)進行各種數據(ju)(ju)(ju)分析。軟件(jian)還可(ke)選擇自(zi)動(dong)測(ce)量(liang)功能，根據(ju)(ju)(ju)樣品電(dian)阻大小(xiao)自(zi)動(dong)選擇適合電(dian)流量(liang)程檔(dang)測(ce)試。
計算(suan)機通訊接口	并口，高速(su)并行采集(ji)數據，連(lian)接電腦(nao)使用時采集(ji)數據到電腦(nao)的時間只(zhi)需要(yao)1.5秒
標準使用環境	溫度：23±2℃；相對濕度：≤65%；無高頻干擾；無強光直射；

配置	四探針(zhen)(zhen)測試儀主機、S-2B型探針(zhen)(zhen)臺、FT-201四探針(zhen)(zhen)探頭(tou)	13000/套
配置	四探(tan)針(zhen)測試(shi)儀主機、S-2B型探(tan)針(zhen)臺、FT-201四探(tan)針(zhen)探(tan)頭、測試(shi)軟(ruan)件(含測控模塊)	17000/套
配置	四探針(zhen)測試儀主機、S-2B型探針(zhen)臺、FT-201四探針(zhen)探頭(tou)、臺式電腦	22000/套
備注	用(yong)戶(hu)可(ke)按實際需(xu)要選擇配(pei)置，電腦可(ke)按用(yong)戶(hu)要求以市場(chang)價(jia)配(pei)置或自(zi)行購置安裝測試(shi)軟(ruan)件(jian)即可(ke)