RTS-3型手持式四探針測試儀

簡單描述
RTS-3型手持式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
更新時間： 2017-10-11
產品型號： RTS-3

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詳細介紹

RTS-3型手持式四探針測試儀是運用四探針測(ce)量原理的(de)多用途(tu)綜(zong)合(he)測(ce)量設備。該儀器按(an)照單晶(jing)硅物理測(ce)試(shi)方法國家標(biao)準并參考美國 A.S.T.M 標(biao)準而(er)設計的(de)，于測(ce)量硅晶(jing)塊(kuai)、晶(jing)片電阻(zu)率(lv)及擴散層(ceng)、外延層(ceng)、ITO導(dao)(dao)電箔膜、導(dao)(dao)電橡膠(jiao)等材料方塊(kuai)電阻(zu)的(de)小型(xing)儀器。

儀器采用(yong)了電子技術進行設計、裝(zhuang)配(pei)。具有功能選擇直觀、測(ce)量取數快、精度高、測(ce)量范(fan)圍寬(kuan)、穩定性好、結(jie)構緊湊、易操作等特點。如有需(xu)要可(ke)加配(pei)測(ce)試臺使(shi)用(yong)。
本儀器適用(yong)于半(ban)導體(ti)(ti)材料廠、半(ban)導體(ti)(ti)器件(jian)廠、科研(yan)單位、高(gao)等院校對半(ban)導體(ti)(ti)材料的電(dian)阻性能測(ce)試。

技術參數(shu)：

測量范圍	電阻率：0.01～1999.9Ω.cm；方塊電阻：0.1～19999Ω/□；
恒(heng)流(liu)源	電流量程分為100μA、1mA兩(liang)檔，兩(liang)檔電流連續可調
數字電壓表(biao)	量程及表示形式：000.00～199.99mV；分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1%；顯示：以大屏幕LCD顯示讀數，直觀清晰；極性、超量程自動顯示；
四探針探頭基本指(zhi)標	間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探(tan)針(zhen)探(tan)頭應用(yong)參數	(見探頭附帶(dai)的合(he)格證(zheng))
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87進行)	1Ω、10Ω、100Ω小于(yu)等于(yu)0.3%±1字
整機(ji)測量zui大相對誤差	(用硅(gui)標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機(ji)測量標準不確定(ding)度	≤5%
外型尺(chi)寸	185mm(長)90mm(寬)30mm(高)
重量	350g
電源(yuan)	鋰電池，一(yi)次充(chong)電可連續(xu)使(shi)用(yong)100小時；
標準(zhun)使用環境	溫度：23±2℃；相對(dui)濕度：≤65%；無高頻干擾；無強光直射(she)；